אין דער וועלט פון פּרעציזיע מאַנופאַקטורינג און ייבערפלאַך פינישינג,צעריום אָקסיידפּאָליר-פּודער איז אַרויסגעקומען ווי אַ מאַטעריאַל וואָס טוישט די וועלט. זיינע אייגענאַרטיקע אייגנשאַפֿטן מאַכן עס אַ וויכטיקער קאָמפּאָנענט אין אַ ברייטן קייט פון פּאָליר-אַפּליקאַציעס, פֿון די דעליקאַטע ייבערפֿלאַכן פֿון אָפּטישע לענסעס ביז די הויך-טעק וועיפֿערס אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע.
דער פּאָליר־מעכאַניזם פֿון צעריום־אָקסייד איז אַ פֿאַרכאַפּנדיקע מישונג פֿון כעמישע און מעכאַנישע פּראָצעסן. כעמיש,צעריום אָקסייד (סעאָ₂) נוצט אויס די וועריאַבלע וואַלענס שטאַטן פון דעם צעריום עלעמענט. אין דער אנוועזנהייט פון וואַסער בעת דעם פּאָלירינג פּראָצעס, די ייבערפלאַך פון מאַטעריאַלן ווי גלאָז (מערסטנס צוזאַמענגעשטעלט פון סיליקאַ, SiO₂) ווערט כיידראָקסילירט.סעאָ₂דערנאָך רעאַגירט עס מיט דער הידראָקסילירטער סיליקאַ ייבערפלאַך. עס פאָרמירט ערשט אַ Ce – O – Si בונד. צוליב דעם הידראָליטישן כאַראַקטער פון דער גלאָז ייבערפלאַך, טראַנספאָרמירט זיך דאָס ווייטער אין אַ Ce – O – Si(OH)₃בונד.
מעכאניש, די שווערע, פיינע קערניגעצעריום אָקסיידטיילכלעך אַקטירן ווי קליינע אַברייסיוו מאַטעריאַלן. זיי קראַצן פיזיש אַוועק די מיקראָסקאָפּישע אומגלייכבייטן אויף דער ייבערפלאַך פון דעם מאַטעריאַל. ווען דער פּאָליר-פּאַד באַוועגט זיך איבער דער ייבערפלאַך אונטער דרוק, דיצעריום אָקסיידטיילכלעך צעמאלן די הויכע פונקטן, ביסלעכווייז פלאטמאספעריג מאכן די ייבערפלאך. די מעכאנישע קראפט שפילט אויך א ראלע אין צעברעכן די סיליקאן-או-סיליקאן בינדונגען אין דער גלאז סטרוקטור, וואס ערלייכטערט די באזייטיגונג פון מאטעריאל אין דער פארעם פון קליינע שטיקלעך.איינע פון די באמערקנסווערטע אייגנשאפטן פוןצעריום אָקסיידפּאָלירן איז זיין מעגלעכקייט זיך אליין צו צופּאַסן די פּאָלירן-ראַטע. ווען די מאַטעריאַל-איבערפלאַך איז גראָב, דיצעריום אָקסיידטיילכלעך נעמען אגרעסיוו אוועק מאַטעריאַל מיט אַ רעלאַטיוו הויכער גיכקייט. ווי די ייבערפלאַך ווערט גלאַטער, קען מען צופּאַסן די פּאָליר-גיכקייט, און אין עטלעכע פאַלן, אפילו דערגרייכן אַ "זעלבסט-שטאָפּ" צושטאַנד. דאָס איז צוליב דער אינטעראַקציע צווישן דעם צעריום אָקסייד, דעם פּאָליר-פּאַד, און די צוגאַבן אין דער פּאָליר-שלאַרי. צוגאַבן קענען מאָדיפֿיצירן די ייבערפלאַך-כעמיע און די אַדכיזשאַן צווישן דעםצעריום אָקסיידפּאַרטיקלען און דאָס מאַטעריאַל, עפֿעקטיוו קאָנטראָלירן דעם פּאָלירינג פּראָצעס.
פּאָסט צייט: 17טן אַפּריל 2025
